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      技術文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術文章  -  日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列的產品介紹 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列的產品介紹
      
            
      更新時間：2024-08-08      瀏覽次數：766
      
            
      
            	 
      日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列
      我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產品外觀。
      ●產品信息
      Vi系列規格
              Vi-4207R、C               Vi-4307M，C               Vi-5301M  
      晶圓尺寸         ～200毫米          ～300毫米                   ～300毫米
      處理                 機器人                          機器人                         機器人
      裝載機     打開盒式磁帶                開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB
      缺陷尺寸(μm)             1.2/ 2.4/5.0（物鏡10x/5x/2.5x）     
      尺寸         W2280xD1140xH2060    W2280xD1140xH2060  寬2600x深1440x高1790
      重量                 1650公斤                    1700公斤                2800公斤
      應用    CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓
      1. 缺陷示例

      image.png

      2、按區域（層）分類精細檢測
      ●區域分類根據器件圖案的特征實現多種檢測靈敏度和容差。
      ●每個區域都可以有檢查參數。

      3.通過各種照明和彩色圖像來精細化圖像
      ●灰度檢測無法檢測到的缺陷可以通過彩色檢測來檢測。
      ●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。


      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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