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      技術文章/ article
      
        
       您的位置：首頁  -  技術文章  -  日本takano 晶圓表面檢測設備WM系列的產品介紹 
      
        
      
      
      
      
      
        	
      日本takano 晶圓表面檢測設備WM系列的產品介紹
      
            
      更新時間：2024-08-08      瀏覽次數：606
      
            
      
            	 
      WM系列規格
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      001.png



      1.png
      無圖案300mm晶圓表面檢測系統
      WM-10R是300mm晶圓的標準型號
      是48nm的高靈敏度檢測系統。
      WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.




      002.png


      2.png200mm以下無圖案晶圓表面檢測系統

      WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號。
      WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.





      1. 獨的創高靈敏度光學系統
      • WM-10R 有 2 軸粒子入射角。
      • WM 系列有 2 個寬數值孔徑鏡頭，用于高靈敏度檢測。
      2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描
      • WM系列是帶轉速控制的螺旋掃描方式。
      • XY-數據發送到 EB 審查設備，然后可以通過輕松對齊進行審查。

      
            
      
         	
                                            
        
      
      
      
    
      
  
      

      

 



      
  
      
    
    
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