brooksinstrument高溫質量流量控制計

brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。特點
高泄漏完整性（小

產品型號：5850EMH / 5851EMH
廠商性質：經銷商
更新時間：2023-04-21
訪問量：921

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品牌	其他品牌	類型	其他
測量范圍	12m3/h

brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹

5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許最大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
高純度 VAR 316L 不銹鋼
無磨粒
氦泄漏檢查端口
常閉閥（可選常開閥）
電致動閥復位
低命令流量斷流
TTL 兼容"關閥"功能

優勢

穩定、可靠的產品平臺
高流量，高達 100 lpm（N2 當量）
全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

光纖制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制

5850EMH	5851EMH
流量范圍-滿量程容量	3 sccm - 30 slm (N2 equivalent)	10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度	±1% FS	±1% FS
重復性	< ±0.25% of SP	< ±0.25% SP
響應時間-常閉	3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)	3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模擬通訊	0-5 Vdc	0-5 Vdc

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