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      otsukael靜態光散射光度計 照度計 紫外光譜儀

      otsukael靜態光散射光度計 照度計SLS-6500HL的介紹
      絕對分子量、慣性半徑和第二維里系數可以使用靜態光散射法測量。
      可以進行 Zimm plot、Berry plot、Zimm square root plot、單一濃度法 plot、Debye plot 等各種分析。
      確定膠束的總數。
      可選的棒狀樣品池支架可對光纖材料(散裝)進行絕對散射強度測量。

      • 產品型號:SLS-6500HL
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新時間:2023-04-14
      • 訪  問  量:1065
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      otsukael靜態光散射光度計 照度計SLS-6500HL的介紹

      otsukael靜態光散射光度計 照度計SLS-6500HL的介紹


      • 絕對分子量、慣性半徑和第二維里系數可以使用靜態光散射法測量。

      • 可以進行 Zimm plot、Berry plot、Zimm square root plot、單一濃度法 plot、Debye plot 等各種分析。

      • 確定膠束的總數。
      • 可選的棒狀樣品池支架可對光纖材料(散裝)進行絕對散射強度測量。

      產品信息

      特征
      • 膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm(SiO 2換算)

      • 薄膜厚度值的高重復性

      • 每點1秒以內的高速測量

      • 圖案可瞄準微小點(最小Φ3μm)

      • 適用于圖案化晶圓的膜厚測繪

      • 可以獲取用于圖案對齊的圖像



      除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。



      特征
      • 可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數

      • 能夠分析納米級多層薄膜的膜厚

      • 通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜

      • 支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析

      • 通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性


      測量項目
      • 橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量

      • 光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析

      • 膜厚分析


      測量對象
      • 半導體ウェーハ
        ゲート酸化薄膜,窒化膜
        SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
        レジストの光學定數(波長分散)

      • 化合物半導體
        AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン

      • FPD
        配向膜

      • 各種新素材
        DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜

      • 光學薄膜
        TiO2,SiO2,反射防止膜

      • リソグラフィー分野
        g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価



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