haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型

haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型L10706

haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型L10706

減壓靜電消除技術(shù)

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L10706 是可以解決半導(dǎo)體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環(huán)境中的靜電問題的靜電消除系統(tǒng)。與光照射型光電離子發(fā)生器一樣，不存在電極產(chǎn)生灰塵的問題，可以實(shí)現(xiàn)干凈的靜電消除。此外，緊湊的光源和SUS軟管增加了自由度，可以將其安裝在設(shè)備的狹窄空間或靠近物體的地方。

特征

• (1) 可就近安裝

• 采用緊湊型光源和 SUS 軟管，增加了安裝自由度。

• (2) 剩余電位為0V

• 由于正負(fù)離子和電勢(shì)在空間均勻分布，所以被除靜電物體的殘余電勢(shì)為0V。

• (3) 無氣流依賴性

• 在紫外線照射法中，由于氣體在寬范圍內(nèi)被離子化，因此無論氣體的流動(dòng)狀態(tài)如何，都可以獲得穩(wěn)定的靜電消除性能。

• (4) 無電磁噪音

• 由于使用紫外線照射的電離系統(tǒng)，不會(huì)產(chǎn)生電磁噪聲。

• (6) 免維護(hù)

• 無需離子平衡調(diào)整等日常維護(hù)。只有氘燈需要更換。

光照射型

使用光電離的靜電消除器

VUV（真空紫外線）電離器 L12542

減壓靜電消除技術(shù)

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解決半導(dǎo)體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環(huán)境中的靜電問題的靜電消除系統(tǒng)。與光照射型光電離子發(fā)生器一樣，不存在電極產(chǎn)生灰塵的問題，可以實(shí)現(xiàn)干凈的靜電消除。

特征

• (1) 減壓下的最大效果

• 由于壓力降低時(shí)離子的平均自由程變長(zhǎng)，因此靜電消除性能進(jìn)一步增強(qiáng)。

• (2) 剩余電位為0V

• 由于正負(fù)離子和電勢(shì)在空間均勻分布，所以被除靜電物體的殘余電勢(shì)為0V。

• (3) 無氣流依賴性

• 在紫外線照射法中，由于氣體在寬范圍內(nèi)被離子化，因此無論氣體的流動(dòng)狀態(tài)如何，都可以獲得穩(wěn)定的靜電消除性能。

• (4) 無電磁噪音

• 由于使用紫外線照射的電離系統(tǒng)，不會(huì)產(chǎn)生電磁噪聲。

• (5) 適用于任何制造設(shè)備

• 該系統(tǒng)僅由三點(diǎn)組成：氘燈、電源裝置和法蘭。易于連接到制造設(shè)備和運(yùn)輸隧道。

• (6) 免維護(hù)

• 無需離子平衡調(diào)整等日常維護(hù)。只有氘燈需要更換。

光離子化系統(tǒng)“Photoionizer"使用清潔離子生成方法“Photoionization"。與傳統(tǒng)的電暈放電方法不同，我們實(shí)現(xiàn)了不會(huì)產(chǎn)生“灰塵、電磁噪聲或臭氧"的清潔靜電消除。此外，由于離子生成平衡，因此不會(huì)發(fā)生反向充電。由于帶電物體附近的分子被電離以消除靜電，因此消除靜電的效率，可以瞬間消除高速運(yùn)動(dòng)物體和粉末的靜電，這在以前是困難的。是從“對(duì)象"、“速度"、“環(huán)境"、“可靠性"等方面解決靜電消除問題的靜電消除系統(tǒng)。

無需鼓風(fēng)機(jī)

在弱X射線照射的整個(gè)范圍內(nèi)不斷產(chǎn)生離子。由于帶電物體附近產(chǎn)生的離子直接有助于靜電消除，因此無需通過吹氣來傳送離子。也可以去除輕質(zhì)部件和粉末的靜電。

高離子濃度

在電暈放電型的情況下，電極附近的區(qū)域是產(chǎn)生離子的區(qū)域，而在弱X射線照射方法中，整個(gè)照射區(qū)域都是離子產(chǎn)生區(qū)域，這提高了靜電消除的效率。靜電消除時(shí)間也縮短了。

無反向充電

在弱X射線照射型中，同時(shí)產(chǎn)生等量的“正"離子和“負(fù)"離子，因此不會(huì)發(fā)生反向帶電。如果產(chǎn)生的離子平衡不平衡，只有其中一個(gè)離子會(huì)繼續(xù)大量存在，造成相反的電荷。沒有像電暈放電型那樣的“正"或“負(fù)"調(diào)整。

無需清洗電極

對(duì)于電暈放電型，灰塵會(huì)粘附在電極上并降低除電效果，因此需要經(jīng)常清潔電極。光電離子發(fā)生器無需長(zhǎng)時(shí)間維護(hù)，可保持較高的靜電消除效果。

測(cè)量條件

充電電壓：1 kV 至 100 V（無吹風(fēng)，溫度 26°C，相對(duì)濕度 50%）
充電板（150 x 150 mm，20 pF）