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更新時(shí)間:2025-11-26
瀏覽次數(shù):8在半導(dǎo)體晶圓、液晶面板等高的端精密制造領(lǐng)域,產(chǎn)品表面的微觀質(zhì)量直接關(guān)系到最終產(chǎn)品的性能與良率。因此,對(duì)表面進(jìn)行超精密檢測(cè),識(shí)別出微米甚至亞微米級(jí)別的缺陷,成為生產(chǎn)過(guò)程中不的可的或的缺的環(huán)節(jié)。日本山田光學(xué)推出的YP-150I和YP-250I高亮度鹵素光源裝置,正是為滿足此類嚴(yán)苛的表面檢查需求而設(shè)計(jì)的專用照明設(shè)備。
YP-150I和YP-250I是主要用于顯微觀察的照明裝置。其核心應(yīng)用是檢測(cè)各類高光潔度成品表面的微小缺陷,例如:
表面附著異物
細(xì)微劃痕
拋光不均勻
霧度
滑移線
這些缺陷在普通光照下難以察覺(jué),但在特定角度和高亮度、高均勻性的光照下會(huì)顯現(xiàn)出來(lái)。該系列裝置通過(guò)提供高強(qiáng)度且穩(wěn)定的照明,成為半導(dǎo)體加工、液晶面板制造等過(guò)程中進(jìn)行質(zhì)量控制的有效工具。
該系列產(chǎn)品具備多項(xiàng)旨在提升檢測(cè)精度與穩(wěn)定性的技術(shù)特點(diǎn)。
1. 高照度與均勻照明
兩款裝置均能提供超過(guò)400,000勒克斯的樣品表面照度。如此高的照度是發(fā)現(xiàn)極其微小缺陷(資料提及可檢測(cè)小于0.2微米的缺陷)的基礎(chǔ)。同時(shí),它們采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗邆漭^高的色溫,這使得照明光線不僅明亮,而且不均勻的情況較少,光斑穩(wěn)定銳利,有助于檢測(cè)人員獲得清晰、一致的觀察效果。
2. 有效的熱管理
在提供高亮度光照的同時(shí),鹵素?zé)魰?huì)產(chǎn)生大量熱能,而過(guò)熱可能影響精密樣品或檢測(cè)設(shè)備。該系列產(chǎn)品通過(guò)采用冷鏡技術(shù),將熱量對(duì)觀察過(guò)程的影響降至傳統(tǒng)鋁鏡反射方式的三分之一,為長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定觀察創(chuàng)造了條件。
3. 便捷的操作設(shè)計(jì)
裝置配備了高照度觀察與低照度觀察的一鍵切換功能。這一設(shè)計(jì)方便檢測(cè)人員根據(jù)不同的檢測(cè)需求或樣品特性,快速調(diào)整照明強(qiáng)度,無(wú)需中斷觀察流程,提升了檢測(cè)效率。
4. 型號(hào)區(qū)分與選擇
YP-150I和YP-250I作為姊妹機(jī)型,在具體應(yīng)用上有所區(qū)分。
YP-150I:其照明范圍直徑為30毫米,更適用于較小尺寸樣品的精密檢測(cè)。
YP-250I:其照明范圍直徑為60毫米,能夠覆蓋更大的面積,資料中特別提到可用于8英寸晶圓的檢測(cè)。此外,YP-250I提供了螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型兩種散熱配置,用戶可以根據(jù)實(shí)際安裝環(huán)境與應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行選擇。
山田光學(xué)的YP-150I和YP-250I高亮度鹵素光源裝置,通過(guò)高照度鹵素?zé)艄庠础⒂行У臒峁芾硪约叭诵曰牟僮髟O(shè)計(jì),為半導(dǎo)體和液晶面板等行業(yè)的高精度表面缺陷檢測(cè)提供了專業(yè)的照明解決方案。YP-150I側(cè)重于小范圍超精密檢測(cè),而YP-250I則擴(kuò)展了照明面積并提供了更靈活的散熱選項(xiàng),兩者共同滿足了不同場(chǎng)景下對(duì)穩(wěn)定、清晰照明環(huán)境的需求。該系列裝置的存在,體現(xiàn)了專用照明設(shè)備在現(xiàn)代化精密制造質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中的重要性。
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