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      ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產品介紹

      更新時間:2024-05-21      瀏覽次數:470

      ADTEC Plasma Technology 產品

      高周波射頻電源
      • image.png

      • 設計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產品

      • 提供降低成本的產品

      • 安裝了最新的CPU
        (高速響應性能UP)

      • 支持新的通訊方式
        (可對應EtherCAT)


      自動匹配阻抗設備
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      • 可實現高速自動整合

      • 監視史密斯圓圖上的腔室阻抗

      • 使用專用軟件實時顯示,
        行波,反射波電力功率等

      IDX產品

      直流電源
      • image.png

      • 可在一臺電源上實現多種輸出模式
        可實現可變Duty的雙極輸出
        可實現直流及直流脈沖方式輸出

      • 搭載高速電弧遮斷功能


      微波電源
      • image.png

      • 應用于等離子處理設備

      • 不受高電壓及振動部產生的散熱影響,并且設置環境也適合廣大范圍 



      • TXR,TXL,TXM,TXH系列

        image.png

        AX系列

        image.png

        • 可承受高反射的AB類線性AMP
          高可靠性和高耐用性設計

        • 對應300W~30kW

        • 安裝了最新的CPU
          (高速響應性能UP)

        • 支持新的通訊方式
          (可對應EtherCAT)

        • 300W~對應



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