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      英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

      更新時間:2024-04-18      瀏覽次數:547

      英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

      露點變送器 - Michell Pura

      高純氣體露點變送器

      特點

      測量范圍低可達 -120°Cdp (1ppbV)

      穩定而可重復的測量

      模擬和數字輸出

      安裝簡單

      VCR 過程連接

      可選的顯示/報警單元

      設計緊湊

      快速響應

      可選危險區域認證

      校準更換服務


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      這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,用來測量高純氣體中的微量水分含量。

      Pura使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險區域的型號,是一款完的全可自定義的產品,可以滿足各種特殊需求。

      規格

      傳感器

       

      傳感器類型

      密析爾先進的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

      量程

      -120 - -40°Cdp (校準范圍 -100 - -40°C)

      精度

      ±1°C -40 ~ -60°Cdp
      ±2°C -60 ~ -100°Cdp
      ±4°C -100 ~ -120°Cdp (估計)

      工作壓力

      最小 10-7 Pa (10-9 torr)
      最大 24 MPa (240 barg)

      工作溫度

      -40 ~ +60°C

      流量速率

      1 ~ 5 Nl/min

      電氣

       

      電源

      標稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置

      輸出

      PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制
      PUR-TX-3W: 4~ 20mA 3線制
      PUR-AOL-SEN : 數字 (RS485)

      顯示電纜

      PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)
      PUR-AOL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)

      機械l

       

      傳感器模塊

      高級版 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內部電拋光

      壓力連接

      高級版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接
      Pura 傳感器: ½" VCR 公頭連接

      安裝配置

      高級和 OEM 版: 120mm 間距, 通過氣體端口密封
      管道要求零間隙
      2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 對角線 20 x 20mm 間隙
      Pura 傳感器: 適合 ½" VCR 接口

      外形尺寸

      高級版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h)
      Pura 傳感器: 132 x Ø35mm

      重量

      高級版和 OEM 版: 450g
      Pura 傳感器: 180g

      包裝

      Pura 高級版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封
      Pura OEM & Pura 傳感器: 單層包裝與 1000 gauge聚乙烯
      所有選項: 單獨裝運,有海綿和紙箱保護
      Pura傳感器表面有防護罩來防止運輸和裝卸時的損壞

      更換服務

      可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接

      顯示

      高級版在線顯示: PUR-AOL

      在線顯示: PUR-OL

      測量單位

      °F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率

      由兩線制傳感器輸入定義的簡單顯示

      二次測量變量

      通過外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg)
      用戶可以完的全自定義任何行業標準傳感器
      自動補償 ppmV 和 ppbV

      PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒有管線壓力校正輸入 ppmV

      電源

      通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC

      100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz

      防護等級

      IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板

      IP65 前面板 (IP20 后面板)

      工作溫度

      0 ~ +50°C

      0 ~ +50°C

      繼電器

      2 個 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應所選設備的所有量程 + 傳感器故障報警功能

      報警 1 繼電器: 單級接觸, 額定 3 A @ 250 V AC
      報警 2 繼電器: 轉換觸點, 額定 5 A @ 250 V AC

      顯示分辨率

      5 位

      4 位

      輸出: 模擬

      4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

      0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

      輸出: 數字

      RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數字訪問和所有設置選項的可用性

      RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數字訪問和所有設置選項的可用性

      選項

       

       

      電源

      18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC

      24 V DC

      繼電器

      1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應所有量程 + 全部設備可選 + 傳感器故障報警功能

      1 路繼電器可選 - 參考工廠

      輸出: 模擬

      0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴展量程

      0 ~ 10 V 輸出 采用 500 Ω 并聯電阻

      輸出: 數字

      RS485

       

       

       

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