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      GFC 質量流量控制器的操作原理

      更新時間:2023-05-06      瀏覽次數:616

      GFC 低成本鋁制或不銹鋼熱質量流量控制器

      設計特點

      • ± 1% FS 精度為標準

      • 剛性金屬結構

      • 可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm

      • 最大壓力為 1000 psig (70 bars)

      • 泄漏完整性 1 x 10 -9 sccs 的氦氣

      • NIST 溯源認證

      • 內置可傾斜 LCD 讀數(某些型號)

      • 本地或遠程設定點控制

      • 0-5 Vdc 和 4-20 mA 信號

      • 電路保護

      • 累加器選項

      操作原理

      計量氣體被分成兩條層流路徑,一條通過主流量管道,另一條通過毛細管傳感器。兩個流道都被設計成確保層流,因此它們的流速比是恒定的。

      傳感器管上的兩個精密感溫繞組被加熱,當流動發生時,氣體將熱量從上游繞組傳遞到下游繞組。產生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

      惠斯通電橋設計用于監測傳感器繞組上與溫度相關的電阻梯度,該電阻梯度與瞬時流速成線性比例。

      生成 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的輸出信號,指示基于質量分子的計量氣體流速。

      The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環控制電路連續監測質量流量輸出并將其保持在設定的流量。

      在規定的限制范圍內,流速不受溫度和壓力變化的影響。


      GFC 質量流量控制器

      GFC 型熱質量流量控制器設計用于指示和控制氣體的設定流量。

      GFC 以的低成本將傳統質量流量設備的特性和精度結合到獨的緊湊型設計中。這些控制器中的每一個都包含一個先進的“U"形管傳感器以及由用于非腐蝕性氣體的鋁和黃銅或用于腐蝕性應用的 316 不銹鋼制成的流道元件。可從變送器外部進行調零和量程調整。


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